عناصر تحقق فنی روش پیوند مستقیم ویفر یاقوت کبود برای ساختار حساس به فشار یاقوت کبود

عناصر اجرایی فنی:

5. به منظور حل این مشکل که فناوری موجود برای تحقق پیوند مستقیم ویفر یاقوت کبود در ساختار حساس به فشار یاقوت کبود و دمای کار پایین سنسور فشار آماده شده دشوار است، اختراع حاضر پیوند مستقیم ویفر یاقوت کبود را فراهم می کند. ساختار حساس به فشار یاقوت کبود روش باندینگ

6. اختراع حاضر با اتخاذ طرح فنی زیر محقق می شود: روشی برای اتصال مستقیم ویفرهای یاقوت کبود با ساختار حساس به فشار یاقوت کبود که شامل مراحل زیر است: 1) پیش برش ویفر یاقوت کبود با برش مکانیکی یا برش لیزری. ویفر یاقوت کبود قبل از نوشتن را بدست آورید. 2)، ویفر یاقوت کبود b را از حفره بیرون بیاورید و سپس از برش مکانیکی یا برش لیزری برای پیش‌نویسی ویفر یاقوت کبود b استفاده کنید تا ویفر یاقوت کبود b را حکاکی کنید. 3) ویفر یاقوت کبود قبل از خط زدن a و ویفر یاقوت کبود حکاکی شده و قبل از خراش b به طور متوالی توسط rca تمیز می شوند و به صورت اولتراسونیک با آب دیونیزه تمیز می شوند و سپس توسط محلول اسید فسفریک غلیظ قبل از قرار دادن یک لایه هیدروکسیل در رقیق شده اچ می شوند. اسید سولفوریک با غلظت 0.5-1 مول در لیتر، شستشو با آب دیونیزه شده و به دست آوردن ویفر یاقوت کبود آبدوست a و ویفر یاقوت کبود b.

4) ویفر یاقوت کبود a و ویفر یاقوت کبود b را پس از پیش تصفیه آبدوست، تراز کرده و روی هم قرار دهید، آنها را در یک باندر برای پیش چسباندن قرار دهید و یک ویفر یاقوت کبود از قبل چسبانده شده به دست آورید. 5) ویفرهای یاقوت کبود از قبل چسبانده شده را قرار دهید ویفر یاقوت کبود چسبانده شده در فیکسچر قرار می گیرد و ثابت می شود و سپس روی سکوی فشار زیر محفظه گرمایش محفظه خلاء تجهیزات باندینگ و سکوی فشار بالایی پیوند قرار می گیرد. تجهیزات به کار گرفته می شود

با ما تماس بگیرید:

Email: zhang@pride-cnc.com

تلفن: پلاس 86-755-23699351

موب: به علاوه 8618666663894