دستگاه میکرو الکترومکانیکی و روش ساخت و عناصر تحقق فنی آن

عناصر اجرایی فنی:

4. با توجه به مشکلات فوق، اختراع حاضر پیشنهاد می شود. اختراع حاضر یک ساختار دستگاه مم جدید را ارائه می دهد که می تواند از استفاده از تیرهای کنسول اجتناب کند، دوام بالاتری دارد و ساختار ساده تری دارد. اختراع حاضر همچنین یک روش جدید ساخت دستگاه mems را ارائه می دهد که مراحل فرآیند ساده ای دارد و می تواند بازده تولید را بهبود بخشد.

5. طبق یک تجسم نمونه، یک دستگاه میکروالکترومکانیکی ممکن است شامل: یک بستر عایق باشد. یک پایه نگهدارنده که روی زیرلایه قرار گرفته است، پست نگهدارنده از یک جرم ثابت پشتیبانی می کند. اطراف بستر روی زیرلایه یک یا چند جفت صفحه الکترود که روی بلوک جرمی چیده شده‌اند، هر جفت صفحه الکترود در طرف مقابل بلوک جرمی چیده شده‌اند. و یک صفحه پوشش عایق، که روی آن یک جفت صفحه الکترود مربوط به یک یا چند جفت صفحه الکترود چیده شده است یا چندین جفت الکترود، زمانی که صفحه پوششی یک یا چند جفت صفحه الکترود را بپوشاند، یک یا چند جفت الکترودها به ترتیب در تماس الکتریکی با یک یا چند جفت صفحه الکترود هستند.

6. در برخی از تجسم ها، پست نگهدارنده، جرم اثبات و یک یا چند جفت صفحه الکترود از یک ماده رسانا یا نیمه هادی تشکیل شده اند و سرنخ های رسانا متصل به پست نگهدارنده از یک طرف زیرلایه متصل می شوند. سرب به بیرون، سرنخ های رسانا متصل به یک یا چند جفت الکترود از یک طرف صفحه پوشش به بیرون هدایت می شوند.

7. در برخی از تجسم ها، صفحه پوششی با دهانه ای بین یک یا چند جفت الکترود تشکیل می شود تا پست نگهدارنده و جرم اثبات شود.

8. در برخی از تجسم ها، ارتفاع جرم اثبات کمتر از ارتفاع یک یا چند جفت صفحه الکترود است.

9. در برخی از تجسم ها، دستگاه میکروالکترومکانیکی به عنوان شتاب سنج استفاده می شود و از یک یا چند جفت صفحه الکترود برای اندازه گیری تغییرات در ظرفیت به دلیل تغییر در موقعیت جرم اثبات استفاده می شود.

10. در برخی از تجسم ها، دستگاه میکروالکترومکانیکی به عنوان ژیروسکوپ استفاده می شود، و یک یا چند جفت صفحه الکترود شامل حداقل یک جفت صفحه الکترود اول و یک جفت صفحه الکترود دوم، اولین جفت صفحات الکترود برای درایو A است. سیگنال برای هدایت جرم اثبات به نوسان بین اولین جفت صفحات الکترود اعمال می شود و جفت دوم صفحات الکترود برای اندازه گیری تغییرات خازن به دلیل تغییر در موقعیت جرم اثبات استفاده می شود.

با ما تماس بگیرید:

Email: zhang@pride-cnc.com

تلفن: پلاس 86-755-23699351

موب: به علاوه 8618666663894